一种采用金属辅助湿法刻蚀制备硅基微针的制备方法及其应用.pdfVIP

下载本文档

9
0
约1.11万字
约 13页
2023-05-25 发布于四川
举报
版权申诉

一种采用金属辅助湿法刻蚀制备硅基微针的制备方法及其应用.pdf

1、本文档共13页，其中可免费阅读12页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供一种采用金属辅助湿法刻蚀制备硅基微针的制备方法，包括:将预处理硅片表面涂光刻胶进行图形化处理，得到样片；将所述样片在硝酸银‑氢氟酸‑超纯水混合溶液中沉积，得到沉积硅片；将所述沉积硅片在氢氟酸‑过氧化氢混合溶液中刻蚀，清洗后浸泡在食人鱼溶液中，再去除硅纳米线，得到硅基微针。本发明提供的方法只需要用光刻胶做简单地图形化处理，然后利用金属辅助湿法刻蚀在酸性条件下刻蚀出大尺寸微针，微针高度可控，微针位置可控，刻蚀时间短，工艺过程简单，效果显著。硅基微针高度为90～137微米；制备的传感器对过氧

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112221010 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011238936.X (22)申请日 2020.11.09 (71)申请人中国科学技术大学地址