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用于产生电子束(4)的装置(1)，所述装置包括：伸长的金属丝形的热阴极，电子束(4)从所述热阴极发出，所述电子束由于热阴极的伸长的形状垂直于其传播方向地具有伸长的、线形的横截面；阴极电极(2)和阳极电极(3)，在所述阴极电极和阳极电极之间施加用于加速从热阴极逸出的电子的电压；以及偏转单元，其能使穿透阳极电极(3)的开口的电子束(4)偏转，其中，在所述装置运行时通过所述偏转单元使电子束(4)的横截面改变为，使得沿线纵向方向的延伸尺寸减小并且沿线横向方向的延伸尺寸增大，特别是，使得沿线纵向方向与线横
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112216583 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 201910975582.8 C23C 14/14 (2006.01)
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