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本发明提供了一种零件三维形貌检测装置，包括：基座、XY直线运动装置、Z轴运动装置、显微视觉检测装置、A轴旋转平台、C轴旋转平台、顶部光源、背光源、侧面面光源；XY直线运动装置和Z轴运动装置固定于基座上方；样品放置于背光源的检测罩的上表面；A轴旋转平台和C轴旋转平台通过连接件固定在XY直线运动装置上方；Z轴运动装置与显微视觉检测装置沿着Z轴连动连接；A轴旋转平台与XY直线运动装置沿着X轴和Y轴连动连接，C轴旋转平台与A轴旋转平台沿着A轴连动连接，背光源检测罩通过紧固螺丝锁紧固定在C轴旋转平台的上方
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112212798 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 202010818945.X
(22)申请日 2020.08.14
(71)申请人 厦门大学
地址 36
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