一种基于柱状矢量偏振光的超分辨激光打印装置.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种基于柱状矢量偏振光的超分辨激光打印装置.pdf

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本发明公开了一种基于柱状矢量偏振光的超分辨激光打印装置，属于超分辨激光微纳加工领域。直写激光器输出的光束经过声光调制器强度调制后被准直器准直为平行光束，再经过起偏器、1/2波片和涡旋半波片被转化为切向偏振光；抑制激光器输出的光束经过声光调制器强度调制后被准直器准直为平行光束，再经过起偏器、1/2波片和涡旋半波片被转化为径向向偏振光；两个柱状矢量偏振光分别依次经过两个圆锥透镜整形为环形平行光束；之后两束光进行合束变为一路光被高数值孔径物镜聚焦；环形径向偏振光聚焦成为实心光斑，环形切向偏振光聚焦成为

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112286014 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 202011378485.X (22)申请日 2020.12.01 (71)申请人之江实验室地址 3