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纳米压印软模固定装置和纳米压印设备.pdfVIP

纳米压印软模固定装置和纳米压印设备.pdf

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    本发明公开一种纳米压印软模固定装置和纳米压印设备，其中，纳米压印软膜包括压印部、及分设于压印部相对两端的两连接部，纳米压印软模固定装置包括：至少一限位杆组，包括相并行的两限位杆，每一限位杆具有用以供连接部绕接的弧形面；以及两牵引机构，分别与两连接部连接；压印部位于限位杆组的一侧，两牵引机构分别用以将连接部朝限位杆组的另一侧拉伸牵引，以使压印部张紧于限位杆组上。本发明技术方案旨在平整固定纳米压印软模，以提升纳米压印的图形转移质量。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112327576 A (43)申请公布日 2021.02.05 (21)申请号 202011152839.9 (22)申请日 2020.10.23 (71)申请人 歌尔股份有限公司 地址

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