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本发明提供一种适用于大尺寸单晶的排气系统，包括单晶炉底板和排气管道，排气管道与单晶炉底板连接，还包括排气口和排气口封堵装置，其中，排气口与单晶炉底板连接，且排气口与排气管道连通，便于氧化物排出；排气口封堵装置与排气口转动连接，排气口封堵装置对排气口打开或关闭，控制排气系统排气口打开的数量。本发明的有益效果是结构简单，维修方便，具有排气口封堵装置和管道封堵装置，能够对排气口和管道进行封堵，使得排气口能够分批次打开和关闭，排气管道内具有自净化装置，在保证炉台正常运行过程中，将炉内不断沉积下来的氧化物
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112301413 A
(43)申请公布日
2021.02.02
(21)申请号 20191
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