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本申请公开了一种MEMS振镜及光学系统，其中，所述MEMS振镜将激励线圈、信号输入端和信号输出端均设置在边缘结构上，所述激励线圈根据接收的激励信号，通过机械耦合和机械放大效应，实现间接的微镜驱动，避免了激励线圈在工作过程中产生的热量给微镜扫描工作时的温度稳定性造成不良影响的情况出现，避免了快速扫描时激励线圈的疲劳失效的问题，提升了微镜的工作寿命；同样由于激励线圈没有直接设置在微镜表面上，降低了微镜扫描时的总体重量，提升了微镜的扫描频率，实现了微镜的高频率工作。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112305750 A
(43)申请公布日
2021.02.02
(21)申请号 20191
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