原创力文档- 4
- 0
- 约2.43万字
- 约 19页
- 2023-05-28 发布于四川
- 举报
本申请提供了一种晶圆键合的控制方法、控制装置、处理器和键合系统，该方法包括：调整第一晶圆的第一倍率差值和/或第二晶圆的第二倍率差值，使得第一倍率差值和第二倍率差值相同，其中，第一倍率差值为第一曝光区域在第一方向上的第一放大倍率与在第二方向上的第二放大倍率的差值，第二倍率差值为第二曝光区域在第一方向上的第三放大倍率与第二方向上的第四放大倍率的差值；调整第一放大倍率和第二放大倍率，或者调整第三放大倍率和第四放大倍率，使得第一放大倍率和第三放大倍率相同，且使得第二放大倍率和第四放大倍率相同；在调整后，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112382578 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 202011272923.4 H01L 27/11578 (2017.01)
(22)申请日
文档评论（0）