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一种集成电路用单晶硅片边缘倒角装置.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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一种集成电路用单晶硅片边缘倒角装置.pdf

    本发明公开了一种集成电路用单晶硅片边缘倒角装置，包括基座，所述基座的顶部外壁通过螺钉固定有支撑柱，且支撑柱的顶部外壁设置有放置板，所述放置板的顶部外壁设置有橡胶板，所述基座顶部外壁的两侧通过螺钉固定有同一个龙门架，且龙门架的顶部内壁通过螺钉固定有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆活塞杆的一端通过螺钉固定有集尘箱，且集尘箱的两侧内壁均通过螺钉固定有吸尘泵，所述吸尘泵的输入端套接有吸尘管。本发明收集盘能够收集倒角过程中下落的灰尘，吸尘泵能够将倒角过程中飞扬的灰尘进行吸附，起到良好的自动固定倒角效果，倒角的过

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112372431 A (43)申请公布日 2021.02.19 (21)申请号 202011267457.0 B24B 47/12 (2006.01)

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