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- 2023-05-29 发布于四川
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本发明公开了一种采用脉冲激光进行清洗的超导腔内表面清洗设备，包括床身，所述床身的上方设有用以安装超导腔的、且可进行往复直线移动的超导腔固定座，在所述床身的上方设有在超导腔移动时对超导腔内壁进行激光处理的自动调焦激光清洗头，所述自动调焦激光清洗头包括激光头，所述激光头的前端安装调焦组件，所述调焦组件前端安装有环形电机，环形电机前端连接有振镜固定外壳，所述振镜固定外壳内安装有振镜，所述振镜固定外壳的端部安装有滑动轴承，本发明采用激光清洗技术对超导腔的内表面进行清洗，具有安全性高、可靠的优点，能够避免
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115815226 A
(43)申请公布日 2023.03.21
(21)申请号 202211452222.8
(22)申请日 2022.11.18
(71)申请人 随州大方精密机电工程有限公司
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