1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种气体传感器的制造工艺.pdfVIP

  • 4
  • 0
  • 约1.46万字
  • 约 15页
  • 2023-05-29 发布于四川
  • 举报

一种气体传感器的制造工艺.pdf

    本发明涉及传感器制造技术领域，且公开了一种气体传感器的制造工艺，涉及传感器制造技术领域，所述清洗烘干一体机包括支撑架，所述支撑架的顶部固定连接有清洗箱，所述支撑架的顶部固定连接有安装架，所述安装架的顶部固定连接有第一电机，该一种气体传感器的制造工艺，通过第一电机带动升降螺纹杆转动，升降螺纹杆带动安装板上下移动，安装板带动安装管、安装箱和夹持机构上下移动，再通过夹持机构的配合，从而实现了对半导体衬底清洗时的便携式夹持固定，通过驱动机构带动安装管、安装箱和夹持机构转动，再通过排液供液机构进行供液，同

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115825167 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202211443473.X H01L 21/02 (2006.01)

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >