- 1、本文档共11页,其中可免费阅读10页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明的实施例提供了一种晶体管外延结构及其制备方法,涉及微电子技术领域,该晶体管外延结构包括:衬底基层;生长在所述衬底基层上的第一金属层和缓冲层,其中所述缓冲层间隔设置于所述第一金属层的相对两侧;以及生长在所述缓冲层上的第二金属层;其中,所述缓冲层用于阻碍所述第二金属层向所述衬底基层扩散。通过设置缓冲层,能够阻绝第二金属层和衬底基层,阻碍第二金属层中的正价元素向衬底基层扩散,从而防止第二金属层向衬底基层扩散。相较于现有技术,本发明提供的晶体管外延结构,能够减缓外延材料中的三价硼元素或者五价磷元素
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112466932 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 202011375926.0
(22)申请日 2020.11.30
(71)申请人 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
您可能关注的文档
- 用于暗装式踢脚线安装的压条.pdf
- 扣件与压条一体式踢脚线.pdf
- PCR移液枪卡接机构.pdf
- 料盘夹爪机构.pdf
- 一种无人车辆智能识别方法.pdf
- 一种新型保温建材制备方法.pdf
- 一种上电复位电路及芯片.pdf
- 一种精密木工台锯机智能安全防护装置.pdf
- 一种智能医用内分泌科试管支架.pdf
- 一种水箱焊接装置.pdf
- 新视野二版听说1第6单元示范1课件.ppt
- 【参考答案】 联络口译(第二版) 《联络口译》(第二版)参考答案.pdf
- 梅大高速茶阳路段“5·1”塌方灾害调查评估报告.docx
- 虹吸雨水PE管施工节点标准做法.pdf
- 2025消防设施施工质量常见通病防治手册,典型图示+规范要求.pptx
- 新视野大学英语(第二版)读写教程 4 空军工程大学编U05B.ppt
- E英语教程2(智慧版)Unit 6.pptx
- E英语教程3(智慧版)Unit 7.ppt
- 新视野二版读写1第4单元课件Section A How to Make a Good Impression.pptx
- E英语视听说教程4(智慧版)4-U2课件(2024版)U2.pptx
文档评论(0)