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一种基于纳米裂纹的地震动传感器的制造方法，属于微机电系统和微纳米加工技术领域。步骤如下：首先采用磁控溅射等薄膜沉积方法在柔性聚合物表面沉积一层金属薄膜，接着在金属薄膜表面旋涂光刻胶并将光刻胶与金属薄膜图形化，再将金属薄膜表面的光刻胶再次图形化，随后对柔性聚合物进行弯曲使金属薄膜产生纳米裂纹，然后去除金属薄膜表面的光刻胶，接着将柔性聚合物基底切割成悬臂梁结构，最后将柔性聚合物与玻璃基板键合。本发明通过在悬臂梁结构的柔性聚合物基底上制作带有纳米裂纹的金属薄膜，可以实现对于微地震的超灵敏测量，从而可以
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112456435 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 202011343289.9
(22)申请日 2020.11.26
(71)申请人 大连理工大学
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