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- 2023-05-30 发布于四川
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本申请公开了一种位错检测系统，所述位错检测系统采用对焦模块按照预设路径向待测样品出射探测光线，并接收所述待测样品反射的所述探测光线，并根据接收的所述探测光线形成探测图像，然后利用数据处理模块基于图像处理技术对所述待测图像进行自动识别，以获取包括所述待测图像中包括的位错信息，从而实现对待测样品的位错信息进行自动检测的目的，有利于提高对于待测样品的位错信息的检测效率，并且相较于人工检测位错的方法可以较为容易的增加对于待测样品的采集点数量，有利于提高位错密度的估算精度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112557402 A
(43)申请公布日 2021.03.26
(21)申请号 202011411979.3 (51)Int.Cl.
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