1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

在陶瓷涂层中形成具有可调体积分数的纳米孪晶区.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约2.2万字
  • 约 25页
  • 2023-05-30 发布于四川
  • 举报

在陶瓷涂层中形成具有可调体积分数的纳米孪晶区.pdf

    在一般方面，本申请公开了一种制造具有可调体积分数的纳米孪晶区的陶瓷薄膜。在一些方面，本申请公开了一种用于在真空室中的衬底的表面上制造陶瓷薄膜的方法。陶瓷薄膜包括多个晶粒；每个晶粒包括一个或多个纳米孪晶区。一个或多个纳米孪晶区的体积分数在陶瓷薄膜的30～80％的范围内。准备包括多种溅射材料的多个靶。在真空室中形成气体气氛。向多个靶供应电能以引起多种溅射材料的共溅射，从而形成具有一个或多个纳米孪晶区的陶瓷薄膜。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115812002 A (43)申请公布日 2023.03.17 (21)申请号 202180017613.4 (22)申请日 2021.07.15 (85)PCT国际申请进入国家阶段

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >