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臭氧产生装置.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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臭氧产生装置.pdf

    将包含多个利用放电从原料气体产生臭氧的放电单元(201～204)的放电模块(101～104)在层叠方向(Y)上层叠多个而配置，针对各放电模块(101～104)分别设置对各放电模块(101～104)内的所有放电单元(201～204)的放电进行控制的放电控制部(401～404)，具备：电源部(3)，向放电单元(201～204)施加电压来形成放电；以及冷却部(5)，送出制冷剂而对各放电单元(201～204)进行冷却，冷却部(5)设置于层叠方向(Y)的一端侧，在与放电模块(101～104)的层叠方向(Y

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115836026 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202080103031.3 (51)Int.Cl.

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