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2023-05-30 发布于四川
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一种传感器薄膜制造用增加气相沉积辅热组件.pdf

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本发明涉及传感器薄膜制造技术领域，且公开了种传感器薄膜制造用增加气相沉积辅热组件，包括反应仓，所述反应仓的中部活动连接有转轴，转轴的顶部活动连接有催化机构，催化机构的外侧固定连接有导热板。该传感器薄膜制造用增加气相沉积辅热组件，通过产生的感应电流，从而使加热板外侧的线圈通电，从而使加热板内部铁条产生交变的电流即涡流，进而产生热能，从而在撞板的撞动下，从而使充气机构内部的空气被压缩，从而使压缩的空气通过加热板传递给了导气管，从而使加热的空气通过导气环被传递给反应仓，从而使反应仓内部的空气升温，从而

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112458433 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202011336507.6 (22)申请日 2020.11.23 (71)申请人广州创盈机械设计有限公司

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