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本发明公开了一种HF中杂质分离分析方法，采用具有双反吹系统的气相色谱，以高纯氦为载气，配置氦放电离子化检测器，包括以下步骤：S1，待测试的标准样品进样，绘制标准曲线；S2，做校正文件；S3，待测试的HF气体样品进样；S4，根据标准曲线，计算待测试的HF气体样品中各杂质含量；其中，S3中样品进样后，进样的气体分两路，一路经第一预柱和第一分析柱，进行分离和分析O2+Ar、N2、CH4、CO，一路经第二预柱和第二分析柱，进行分离和分析CO2，其中，在最后出峰的杂质从预柱流出后做反吹切阀，放空主组分。本
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112485347 B
(45)授权公告日 2023.04.11
(21)申请号 202011224522.1 审查员 胡秋馨
(22)申请日 2020.11.05
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