基于片上集成谐振腔的磁传感装置及测量方法.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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基于片上集成谐振腔的磁传感装置及测量方法.pdf

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本发明涉及谐振式磁传感器，具体是一种基于片上集成谐振腔的磁传感装置及测量方法。本发明解决了现有谐振式磁传感器灵敏度较低的问题。基于片上集成谐振腔的磁传感装置，包括信号发生器、1550nm激光器、偏振控制器、光纤偏振分束器、单模光纤A、磁传感单元、单模光纤B、光电探测器、频谱仪、微波发生器；所述磁传感单元包括玻璃基片、氮化硅波导耦合芯片、集成耦合波导、钇铁石榴石盘形微腔、集成微波天线、紫外胶水层A、紫外胶水层B、紫外胶水层C；信号发生器的信号输出端与1550nm激光器的电压调谐端连接；1550nm

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115792750 A (43)申请公布日 2023.03.14 (21)申请号 202310088773.9 (22)申请日 2023.02.09 (71)申请人中北大学