带电粒子束源.pdfVIP

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  • 2023-05-31 发布于四川
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一种例如在电子显微镜中使用的带电粒子束源可包含:导电支撑构件,其联接到基座;安装构件,其联接到所述支撑构件且限定孔;以及发射器构件,其收纳在所述孔中且通过围绕所述孔中的所述发射器构件流动的固定液材料层保持。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113451092 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202110305667.2 (22)申请日 2021.03.23 (30)优先权数据 16/828571

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