一种基于石墨烯的三明治结构散热薄膜、半导体器件及其制备方法.pdfVIP

一种基于石墨烯的三明治结构散热薄膜、半导体器件及其制备方法.pdf

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本发明公开一种基于石墨烯的三明治结构散热薄膜、半导体器件及其制备方法，散热薄膜，包括氧化还原石墨烯层和CVD石墨烯层，氧化还原石墨烯层两侧的表面上均设有CVD石墨烯层。本发明基于石墨烯的三明治结构散热薄膜在与衬底平行或垂直的方向上均具有较好的传热能力，能够使得衬底或半导体器件进行快速匀的散热。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112490204 A (43)申请公布日 2021.03.12 (21)申请号 202011349967.2 (22)申请日 2020.11.26 (71)申请人西安交通大学地址

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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