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本发明提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本发明过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112540513 A
(43)申请公布日 2021.03.23
(21)申请号 202110017947.3
(22)申请日 2021.01.07
(71)申请人 中国
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