对径向蚀刻均匀度的主动控制.pdfVIP

对径向蚀刻均匀度的主动控制.pdf

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描述了主动控制径向蚀刻均匀度的系统和方法。所述方法包含产生具有基频的射频(RF)信号以及产生具有谐波频率的另一RF信号。控制该另一RF信号的谐波频率、或相位、或参数水平、或其组合以控制等离子体室内的RF等离子体鞘的谐波，从而实现径向蚀刻均匀度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112543989 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 201980052920.9 肯尼思 ·卢凯西　 (22)申请日 2019.0

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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