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2023-06-01 发布于四川
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一种MEMS深度力矢量及位置传感器.pdf

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本发明公开了一种MEMS深度力矢量及位置传感器，包括安装板、弹性支撑、基板、微凸点阵、接触凸点和阵列式接触传感器，基板的上部与接触凸点相连，基板的下部通过弹性支撑与安装板相连，微凸点阵位于基板的底部，阵列式接触传感器位于安装板上且位于相邻弹性支撑之间，外部作用力作用在接触凸点上，接触凸点产生变形，同时微凸点阵与阵列式接触传感器接触从而测算出外部作用力的作用点、大小和方向。本发明所提供的一种MEMS深度力矢量及位置传感器，采用深度传感器作用原理，MEMS层通过接触弹性微凸点位置可确定力矢量方向，电

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112556894 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 202011327170.2 (22)申请日 2020.11.24 (71)申请人四川省机械技术服务中心

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