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2023-06-02 发布于四川
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光学检测系统.pdf

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本发明公开了一种光学检测系统，该光学检测系统的第一载台及第二载台用以载负第一光学装置及第二光学装置。位移机构连接于第一载台及第二载台，用以使第一载台及第二载台产生位移。第一工作模块用以对第一光学装置进行一第一检测功能。第二工作模块用以对第二光学装置进行一第二检测功能，且第二检测功能及第一检测功能的检测项目相异。而且，位移机构使第一载台及第二载台产生位移后的一工作状态下，第一载台的位置对应于第一工作模块的位置，且第二载台的位置对应于第二工作模块的位置。本发明能够同时在不同测试工作模块，作不同测试，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116183170 A (43)申请公布日 2023.05.30 (21)申请号 202210387961.7 (22)申请日 2022.04.14 (30)优先权数据 110144485 2021.