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- 2023-06-03 发布于四川
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本发明涉及一种扫描承片台装置及调整方法，该扫描承片台装置包括：第一支架单元，第二支架单元，承片台单元和支撑立架；其中，承片台单元对接于所述第一支架单元和所述第二支架单元之间；第一支架单元和第二支架单元分别与支撑立架紧固贴合；支撑立架呈镜像分布。本发明提供的一种扫描承片台装置及调整方法，采用层叠交错双轨式标准芯轴夹持PMMA承片板方式，兼顾了反射式扫描或透射式扫描支撑平台功能所需，尤其是透射式扫描超薄支撑平台的功能所需，结构紧凑简捷，调节方式快速便捷，实现一种对待测器件可兼顾进行反射式尤其是透射式
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 106970153 A
(43)申请公布日
2017.07.21
(21)申请号 20171
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