一种内嵌式的面板结构及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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一种内嵌式的面板结构及其制作方法.pdf

本发明公开了一种内嵌式的面板结构及其制作方法:制作第一透光导电层和栅极金属层,制作第一绝缘层;去除基板区上第一绝缘层,去除透光电容区上的上部分第一绝缘层;去除第一透光导电层和栅极金属层;灰化处理第一绝缘层,蚀刻栅极金属层,去除第一绝缘层;制作第二绝缘层;制作有源层;制作第二透光导电层和源漏极金属层,制作第三绝缘层;去除基板区以及有源层中部上方的第三绝缘层;去除透光电容区上的上部分第三绝缘层;去除第二透光导电层和源漏极金属层;去除第三绝缘层;蚀刻源漏极金属层;去除第三绝缘层。通过增设透光电容区,使

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112652650 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 202011525914.1 (22)申请日 2020.12.22 (71)申请人 福建华佳彩有限公司 地

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