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本文公开了一种方法,所述方法包括在基底上形成辐射敏感膜;其中所述辐射敏感膜包含辐射敏感组合物,所述辐射敏感组合物包含光酸产生剂;猝灭剂;由包含乙烯基芳族单体的单体和包含酸可分解基团的单体形成的酸不稳定聚合物;和溶剂;将所述辐射敏感膜以图案化方式曝光于活化辐射;以及使所述辐射敏感膜与碱性显影液接触以形成抗蚀剂图案。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112666793 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 202010981126.7
(22)申请日 2020.09.17
(30)优先权数据
62/915222
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