基于CRDS的产物采样装置、产物检测系统和产物检测方法.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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基于CRDS的产物采样装置、产物检测系统和产物检测方法.pdf

本申请公开了一种基于CRDS的产物采样装置、产物检测系统和产物检测方法,基于CRDS的产物采样装置包括等离子体催化反应器、气体隔离室、配气室、光腔连接室、驱动泵;其中,配气室的第一进口设置第二阀门,第二进口连接反应气体的气体流道的末端,反应气体的气体流道中依次设置第一阀门、等离子体催化反应器、气体隔离室;配气室的出口连接光腔连接室进口;驱动泵驱动气体从配气室向光腔连接室流动;光腔连接室通过两个相对分布的接口固定在直线型的光腔的中部。本申请提供的技术方案解决了等离子体催化气体产物采样过程中,等离子

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112691627 A (43)申请公布日 2021.04.23 (21)申请号 202011465394.X G01N 1/24 (2006.01)

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