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一种制备氧化铈纳米复合物的方法、一种氧化铈纳米复合物及一种化学机械抛光液.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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一种制备氧化铈纳米复合物的方法、一种氧化铈纳米复合物及一种化学机械抛光液.pdf

    本发明提供一种制备氧化铈纳米复合物的方法，包括，第一步：将阴离子表面修饰剂与纳米氧化铈颗粒的水分散液接触制得表面带有负电荷的氧化铈纳米复合物，所述阴离子表面修饰剂选自无机多元酸及其衍生物、阴离子有机高分子；第二步：将阳离子表面修饰剂与第一步中带负电的氧化铈纳米复合物接触制得表面带正电的氧化铈纳米复合物，所述阳离子表面修饰剂选自无机路易斯酸及其衍生物、阳离子有机高分子。本发明通过对纳米氧化铈进行表面修饰实现对其化学机械抛光性能的调节，能够解决负电荷氧化铈颗粒氧化硅抛光速度不够高，平坦化效率低的问题

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116200128 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202111466639.5 (22)申请日 2021.11.30 (71)申请人 安集微电子（上海）有限公司 地址

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