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解析装置、解析方法及解析程序.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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解析装置、解析方法及解析程序.pdf

    为了解决解析从测量系统得到的信息来管理测量系统这一问题，提供一种解析装置，其具备：取得部，其取得复数个测量值，所述复数个测量值是试验装置对受测器件进行测量而得的；解析部，其解析复数个测量值并抽出测量值的偏差；以及，管理部，其基于测量值的偏差来检测试验装置的异常。另外，为了解决上述问题，提供一种解析方法。另外，为了解决上述问题，提供一种解析程序。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112752979 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 201980062862.8 (74)专利代理机构 深圳新创友知识产权代理有

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