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阻挡保护装置及半导体设备的维护方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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阻挡保护装置及半导体设备的维护方法.pdf

    本发明涉及一种阻挡保护装置及半导体设备的维护方法；阻挡保护装置包括至少一个阻挡保护结构，阻挡保护结构包括：底座；外支撑轴，一端固定于底座的上表面；外支撑轴上形成有对应设置的条状开口；内支撑轴，内支撑轴相对的两侧设有手柄；内支撑轴部分位于外支撑轴内；手柄经由条状开口延伸至外支撑轴外侧；第一调节限位结构，套置于外支撑轴设有条状开口的部分的外围，且位于手柄的下方。上述阻挡保护装置用于半导体设备的维护，既可以节约大量时间，提高生产效率，又可以避免导致晶圆承载台、喷淋装置、顶针及顶针环等部件损坏的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750718 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 20191

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