原创力文档- 1
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- 2023-06-05 发布于四川
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本发明涉及物理量传感器、电子设备及移动体。通过检测静电电容的物理量传感器的感测区域，来降低存在于两块板的间隙的气体所产生的阻尼电阻。物理量传感器(1)具有：第一板(20)；以及隔着间隙(2)与第一板相对的第二板(10)，通过静电电容的变化来检测根据物理量而变化的第一板与第二板的间隙的感测区域(1A)设置于俯视观察时第一板与第二板重叠的区域内，第一板在感测区域设置有贯通孔(25)，第二板在俯视观察时第二板与第一板的贯通孔重叠的部分(10A)处，虚拟平面(P)至第二板的距离(H1)大于间隙的距离(H
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112747740 A
(43)申请公布日 2021.05.04
(21)申请号 202011180398.3
(22)申请日 2020.10.29
(30)优先权数据
2019-1983
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