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振动器件.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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振动器件.pdf

    振动器件。具有优异的检测特性。振动器件具有振动元件、支承振动元件的支承基板、以及配置于支承基板的多个布线。此外，支承基板具有搭载有振动元件的元件搭载台、位于元件搭载台的外侧的支承台、位于元件搭载台与支承台之间的框、具有连接元件搭载台和框的一对第1梁的内侧梁、以及具有连接框和支承台的一对第2梁的外侧梁。此外，在多个布线中包含有引绕于元件搭载台和支承台的驱动信号布线和检测信号布线，驱动信号布线和检测信号布线通过相互不同的内侧梁而引绕于元件搭载台和框，通过相互不同的外侧梁而引绕于框和支承台。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112752202 B (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202011182261.1 (51)Int.Cl.

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