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快速涂布的涂布机结构及其涂布剂的温控及阵列涂布模块.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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快速涂布的涂布机结构及其涂布剂的温控及阵列涂布模块.pdf

    本发明提供一种快速涂布的涂布机结构及其涂布剂的温控及阵列涂布模块，其中快速涂布的涂布机结构包括：晶圆载盘；以及快速涂布模块，设置于晶圆载盘的上方处，其包括：涂布剂温控模块及阵列涂布模块。借由涂布剂温控模块的第一输送管，输送涂布剂，又借由第二输送管，包覆且互不连通的设置于第一输送管的外围，以输送温控介质；又借由阵列涂布模块，以一维阵列涂布嘴，对晶圆载盘上的晶圆片进行涂布剂涂布作业。本发明的实施，可以达成对涂布剂进行温控及使涂布剂完成快速涂布的功效。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112742664 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 20191

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