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- 2023-06-05 发布于四川
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本发明提供一种晶圆检测系统及检测方法。晶圆检测系统包括入射光源、分束镜、多个偏光片、信号接收装置及分析装置；分束镜位于入射光源的一侧，用于将入射光源的入射光线分成多束；多个偏光片位于分束镜远离入射光源的一侧，偏光片的入射面与入射光线的夹角小于90°；分束后的多束入射光线一一对应入射到所述多个偏光片的表面，经所述偏光片一一对应反射到待检测的多个晶圆的表面；信号接收装置位于偏光片远离晶圆的一侧，用于接收经晶圆反射的光线；分析装置与信号接收装置相连接，用于根据信号接收装置接收的光线对晶圆进行分析检测。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112748126 A
(43)申请公布日
2021.05.04
(21)申请号 20191
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