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- 2023-06-05 发布于四川
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一半导体制程系统包含一制程腔，具有一内部空间。一泵，通过和制程腔通信连接的一流出通到将气体自半导体制程腔排出。系统包括多个流体喷嘴，配置于因应停止泵的操作，在流出通到内产生流体屏障，以抑制粒子自流出通道往内部空间的回流。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112750725 A
(43)申请公布日 2021.05.04
(21)申请号 202011189449.9
(22)申请日 2020.10.30
(30)优先权数据
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