半导体制程系统.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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一半导体制程系统包含一制程腔,具有一内部空间。一泵,通过和制程腔通信连接的一流出通到将气体自半导体制程腔排出。系统包括多个流体喷嘴,配置于因应停止泵的操作,在流出通到内产生流体屏障,以抑制粒子自流出通道往内部空间的回流。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750725 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011189449.9 (22)申请日 2020.10.30 (30)优先权数据 62/928,07

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