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本发明公开了用于激光直写曝光设备的光源同步控制系统及方法，属于激光直写曝光设备领域。本发明利用PEG信号处理板，产生两组存在固定时延的同步信号，分别用于控制光源和DMD部件，光源在PEG信号的控制下，产生了与图形相同步的脉冲激光，在曝光过程中精确地实现了光源与图形的同步；此外，采用了PEG信号处理板控制光源的打开和关闭，相比于现有的PC控制光源的方式，提升了对光源的控制效率和光源的响应速度，由原来的10‑20ms数量级变成百ns数量级；因此，本发明的用于激光直写曝光设备的光源同步控制系统及方法，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115755536 A
(43)申请公布日 2023.03.07
(21)申请号 202211495898.5
(22)申请日 2022.11.24
(71)申请人 无锡影速半导体科技有限公司
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