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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明涉及衬底处理装置、加热器、存储介质及衬底处理方法。缩短处理炉内的温度稳定时间。解决手段为具有：保持衬底的衬底保持件；处理室，对保持于衬底保持件的衬底进行处理；第一加热器，从处理室外加热处理室内；和第二加热器，以位于衬底保持件内的方式设置，并从衬底的背面侧加热衬底，第二加热器具有支柱部；环状部，其连接于支柱部，形成为直径比衬底的直径小的圆弧状；一对连接部，其将环状部的各个端部连接于支柱部，和设置于环状部的内部的发热体。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112768385 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202110189926.X H01L 21/31 (2006.01)
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