原创力文档- 4
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- 2023-06-06 发布于四川
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实施例的激光晶化装置可包括：激光发生部，用于输出第一激光束和第二激光束；匀化部，用于接收由所述激光发生部输出的所述第一激光束和所述第二激光束并使之匀化；光学系统，用于接收经过所述匀化部的所述第一激光束和所述第二激光束并使之光转换；以及基板收容部，用于收容所述光转换后的所述第一激光束和所述第二激光束所照射的基板，所述第一激光束和所述第二激光束具有长轴和短轴，所述第一激光束和所述第二激光束可以以在沿所述长轴的方向上具有不同入射角度的方式被输入到所述匀化部。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112802774 A
(43)申请公布日
2021.05.14
(21)申请号 20201
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