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本发明属于非金属表面金属化领域,具体涉及一种介质陶瓷滤波器的表面金属化工艺,包括:使用有机溶剂超声清洗介质陶瓷滤波器;对其进行高温烘烤、保温;然后装炉进行抽真空、加热保温处理;向炉中通入氩气,开启霍尔离子源对介质陶瓷滤波器表面进行溅射清洗;停止通入氩气,采用高能脉冲离子注入法,采用金属靶,将金属离子注入介质陶瓷滤波器表面;采用磁控溅射法,通入氩气和还原性气体,采用金属靶,在离子注入的金属层表面沉积金属层;继续通入氩气,待介质陶瓷滤波器冷却后从炉中取出。本发明工艺能够有效提高陶瓷基体和表面金属导电
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112779494 B
(45)授权公告日 2022.05.20
(21)申请号 202011408493.4 (56)对比文件
(22)申请日 2020.12.04
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