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衬底处理方法及衬底处理装置.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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衬底处理方法及衬底处理装置.pdf

    衬底处理方法包括：第1处理液供给工序，将包含硫酸及过氧化氢水中的一者的第1处理液涂布于衬底的表面；第2处理液供给工序，将包含硫酸及过氧化氢水中的另一者且粘度比前述第1处理液低的第2处理液供给至涂布有前述第1处理液的前述衬底的表面；混合液处理工序，利用前述第1处理液及前述第2处理液在前述衬底的表面混合而生成的硫酸过氧化氢水混合液对前述衬底的表面进行处理；冲洗工序，在前述混合液处理工序之后，向前述衬底供给冲洗液，从而将前述硫酸过氧化氢水混合液从前述衬底的表面冲走。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115769342 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202180047544.1 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所

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