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元件对齐腔室及使用其制造显示装置的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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元件对齐腔室及使用其制造显示装置的方法.pdf

    本发明涉及一种元件对齐腔室和使用该元件对齐腔室制造显示装置的方法。根据实施方式的元件对齐腔室包括：腔室；台，设置在腔室内；基板，设置在台上，并包括有效区域和非有效区域，其中发光元件对齐在有效区域中，非有效区域围绕有效区域并包括焊盘部；探测单元，设置在台上，并向基板的焊盘部施加对齐信号；以及冷却单元，包括冷却水通道和冷却供应部，冷却水通道在基板的焊盘部和台之间与焊盘部重叠，冷却供应部设置在腔室的外部，并向冷却水通道供应冷却水。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115769358 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202180047560.0 (74)专利代理机构 北京英赛嘉华知识产权代理

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