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一种Plasma机器均匀性测试方法.pdfVIP

一种Plasma机器均匀性测试方法.pdf

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    一种Plasma机器均匀性测试方法，其包括如下步骤：步骤一、准备若干测试片，将测试片烘烤后放进干燥皿里冷却至常温后称重并做标记；步骤二、将测试片分别放进覆铜治具板内；步骤三、将覆铜冶具板及若干覆铜假板以一定规律放入于Plasma机内；步骤四、Plasma测试；步骤五、Plasma做完后，将测试片自覆铜冶具板内拆下，然后将测试片进行烘烤，之后放进干燥皿里进行冷却至常温，再对测试片进行称重；步骤六、结果计算，九个区域的测试结果百分比均需≥70％才算合格。本发明对整个Plasma机的均匀性及生产产品时

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112781901 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 202011523718.0 (22)申请日 2020.12.22 (71)申请人 东莞美维电路有限公司

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