集成周期微凹面镜复合光提取结构.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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本发明提出一种集成周期微凹面镜复合光提取结构,包括:周期排布在透明基板出光面上的微凹面镜、设置在每个所述微凹面镜侧面的纳米环、每个微凹面镜中心凹点的纳米柱、以及设置在透明基板侧面的反射层。上述结构用于减少表面的全反射,最大限度地使光出射至器件外,可明显提升光电器件光提取效率,并且在蓝光波段光提取效率提升非常明显。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112768621 B (45)授权公告日 2022.03.08 (21)申请号 202110106868.X (56)对比文件

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