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本发明提供能准确预测压电致动器的寿命的压电阀、流体控制装置以及压电阀的诊断方法,所述压电阀包括:阀座(42);阀体(43),设置成能在与所述阀座(42)接触的完全关闭位置和完全打开位置之间移动;驱动阀体(43)的压电致动器(41);驱动电路(5),输入压电控制信号,向所述压电致动器(41)输出与该压电控制信号对应的驱动电压;以及漏电流检测器(61),在所述驱动电路(5)将使所述阀体(43)向所述完全关闭位置或所述完全打开位置驱动的额定最大电压以上作为驱动电压向所述压电致动器(41)输出的状态中,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112780820 A
(43)申请公布日 2021.05.11
(21)申请号 202011202898.2
(22)申请日 2020.11.02
(30)优先权数据
2019-2008
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