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用于目标物体的检查的方法、控制系统以及检查系统.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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用于目标物体的检查的方法、控制系统以及检查系统.pdf

    一种用于目标物体(38)的检查的方法，该方法包括：用辐射(58)照射具有非平坦参考轮廓(68)的参考表面(66)；基于与参考表面(66)相互作用的检测到的辐射(58)来确定参考响应数据；用辐射(58)照射目标物体(38)，该目标物体(38)包括目标表面(70)，该目标表面(70)具有与参考轮廓(68)相对应的非平坦目标轮廓(72)；基于与目标物体(38)相互作用的检测到的辐射(58)来确定检查响应数据；以及基于参考响应数据和检查响应数据来确定目标物体(38)的至少一个参数。还提供了：备选方法；用

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112789498 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 201880098217.7 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所

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