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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明提供一种MicroLED显示面板及其形成方法,MicroLED显示面板包括:驱动晶圆和MicroLED器件;驱动晶圆具有相对的第一表面和第二表面,驱动晶圆临近第一表面的区域分布有驱动电路;第二表面与驱动电路之间设置有多个硅通孔,硅通孔中填充有互连层;MicroLED器件位于驱动晶圆的第二表面一侧;MicroLED器件通过互连层与驱动电路电连接。本发明为一种类BSI图像传感器制程,使高应力的MicroLED器件位于驱动晶圆的第二表面一侧,即使高应力的MicroLED器件远离驱动电路,避免了M
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112768434 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202110103713.0
(22)申请日 2021.01.26
(71)申请人 豪威半导体(上海)有限责任公司
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