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本发明提供了一种靶材再生处理及粘靶方法，具体步骤依次为：冷校正、金属化、线切割、靶材除油、靶材粘接、热校正和靶面整理。本发明的有益效果在于：利用泊重量具对铜板进行校正，提高了铜板的平整度；ITO平面靶材使用后利用线切割机切割，一分为二，调换位置再生使用，二次使用后再切割后拼接使用第三次，使得靶材的利用率提升了3倍；粘靶时，通过高温下带铟打磨靶材及铜背板，使铟与之融合，提升了粘靶牢固性；通过耐高温胶布、塞尺、600目砂纸、专用间隙片、抛光片，有效隔离了铟并去除了残留铟。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112831763 B
(45)授权公告日 2022.02.11
(21)申请号 202011562033.7 (56)对比文件
(22)申请日 2020.12.25
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