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本发明涉及一种用于透明脆性材料的斜向切割补偿方法及系统，其包括如下步骤：设置加工治具，并倾斜透明脆性材料，使透明脆性材料的下表面与治具斜面贴合；设置光路补偿单元，其用于补偿激光光束射入倾斜的透明脆性材料时带来的像差；激光光束依次经过光路补偿单元以及光路补偿单元、透明脆性材料之间的空隙内的空气折射聚焦于倾斜的透明脆性材料内部，并沿斜向切割轨迹完成对倾斜的透明脆性材料的斜向切割。本发明通过增加光路补偿单元补偿激光射入倾斜的透明脆性材料时带来的像差，使得聚焦于透明脆性材料内的激光能量能够被有效集中，保
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112828474 B
(45)授权公告日 2022.07.05
(21)申请号 202011626223.0 B23K 26/064 (2014.01)
(22)申请日 2020.1
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